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  1. ...暗室. 外面是一個全鐵殼的框體用來阻隔外界的電波干擾內部的測試. 當然也讓 chamber 內部的訊號不會洩漏出來, 一般在測試的時候人員,不會在裡面.所以被RF...

  2. ...sputter: 1. two Alcu (or Co) process and two TiN process, two etch chamber 2. two Ti process and two TiN process , two etch chamber CVD...

  3. ...是新生兒 2008-06-14 06:14:16 補充: NBC(NEW BABY CHAMBER 新兒房) NC (NEONATAL CHAMBER 新兒房)

  4. ...蝕刻哪個製程的機台, 不過以我工作的經驗來說,清機不就是清潔 Mail Chamber ,通常可以用IPD搭配菜瓜布清潔 即可,不過若是 Chamber 內有電極...

  5. ...68565.asp 2008-08-23 23:31:46 補充: 也可以到台灣地區商業會聯網查詢 http://www. chamber .org.tw/khh/tcoc_25_khh-2.asp

  6. ...雖然有很多有毒氣體 你只要按照程序做 該戴MASK就要戴上 不要偷懶 chamber 要打開的時候 抽氣抽久一點 就很安全了 後端製程學的會比較少 工作比較...

  7. ...公會~ 彰化縣彰化市三民路288號~ 04-7223257 2008-01-23 03:43:27 補充: http://www. chamber .org.tw/cw/tcoc_10_cw-2.asp 彰化縣商業會

  8. ...(Oxide film)和PVD(Metal film),都是在反應爐( chamber )利用物理或化學反應長薄膜,著重在薄膜的厚度,物理特性(n, k, reflectivity index...

  9. 任何Troubleshooting要會解,以提供製程最佳的recipr條件, 當然PM惠包含 chamber leak, MFC Cal., VAT valve, TCU, Parts replace,.. 比較傷身的是開腔体去做wet clean, 記得多pump purge cycle 多次在開,並帶防毒面具。

  10. ...i/tw/ugc/rte/smiley_1.gif 另外台南縣公會﹝台南縣商業會﹞名冊如下 http://www. chamber .org.tw/tnc/tcoc_18_tnc-2.asp 請參考!